皮拉尼電阻真空計是種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計組成,用于測量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。
儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好,不易損壞。
儀器采用微處理機成測量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動非線性參數(shù)修正和誤差補償能,并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防電壓沖擊等術(shù),提了測量度及抗干擾能力,特別對于電子束、離子束以及弧放電等強干擾源都有非凡的抗干擾能力。
每臺真空計均設置有兩組繼電器輸出接口,用來實現(xiàn)真空度定值點和區(qū)域的控制。定值點及區(qū)域可方便自由設定。本儀器通過觸摸開關輸入的預置參數(shù)掉電后可保存,該儀器控制面板更人性化,操作更方便,開電源即可作。本機線路設計合理,制作藝考究,采用了整板設計,波峰焊接。其軟件編排*,算法,使儀器的測量與控制穩(wěn)定可靠。
. 主要術(shù)標
1. 測量與控制范圍:1.0×105~1.0×10-1Pa
2. 測量誤差:(P-P0)/P0≤±15% (2.0×103Pa~1.0×100Pa)
3. 配用規(guī)管:連接管外徑15±0.5mm或法蘭盤接口
4. 采樣時間:1S
5. 模擬輸出信號:0~5V(可選)
6. 控制繼電器觸點容量:2A / AC220V
7. 供電:AC50Hz 220V±10% / 15W
8. 使用環(huán)境:溫度-5~40℃ 濕度≤90%
9. 面板尺寸:116×96mm
10. 機箱尺寸:91(寬)×118深)×91()
二. 使用方法
1、開機準備
將電源開關置于“關"的位置,用規(guī)管電纜將電阻規(guī)與本機對應連接好,用電源線將電源插座和本機電源座連接。繼電器開關量信號輸出座與被控制的執(zhí)行設備用電纜線對應接好,儀器背板上的“J1"、“J2"兩個繼電器輸出座各有組開觸點和常閉觸點,供用戶自行選擇使用。
2、開機
接通電源,儀器顯示“P"約3秒(預熱)后入測量狀態(tài)。
儀器采用以10(用E表示)為底的數(shù),表示單位為Pa的氣體壓力值(真空度)?!癊"前兩位為系數(shù),后兩位是正負數(shù)。
3、電阻真空計的零點和滿度調(diào)校:
請定按照以下調(diào)零點,后調(diào)滿度的秩序行。
a.調(diào)零點
當確定真空系統(tǒng)的真空度在1.0×10-1Pa以上時,作5分鐘后,按儀器面板(▲)(▼) ((▲)增加數(shù)值,(▼)減少數(shù)值)使儀器顯示“1.0E-1"(1.0×10-1Pa),零點調(diào)校作即告成。
b.調(diào)滿度
成了調(diào)零點的作,將被測系統(tǒng)放大氣后,讓儀器作5分鐘,按下(ATM)鍵,并保持,顯示值由原數(shù)值變?yōu)椤?.0E5"(1.0×105Pa),松開按鍵,此時滿度調(diào)校成。
旦調(diào)節(jié)好零點和滿度,以后就不再調(diào),只有更換規(guī)管時才需要調(diào)節(jié)。在調(diào)零點將系統(tǒng)放大氣后,即使儀器已經(jīng)顯示“1.0E5"(1.0×105Pa),仍然需要執(zhí)行調(diào)滿度的步驟。
注意:本機在出廠前已經(jīng)調(diào)好零點,不需調(diào)試 ,由于各地氣壓不同只要調(diào)下滿度即可,也可以不調(diào)。注意規(guī)管號與相應儀器配合使用即可。
4、控制點和控制區(qū)域設置
真空度用氣體的壓力值表示,本機使用的壓力單位是帕(Pa),真空度越,壓力值越低。區(qū)域真空的區(qū)域,上限區(qū)域真空度的端(也就是氣壓值小的端),下限區(qū)域真空度低的端(也就是氣壓值大的端)。
打開本機電源,在窗口顯示“P"的3秒內(nèi),按下面板上的“能(Fun)鍵,入設置狀態(tài),窗口顯示1路控制的真空區(qū)域上限符號“1_",再按下(Fun)鍵,顯示過去設置的真空度上限壓力值,其系數(shù)的整數(shù)位閃爍,按(SET)鍵,在“0~9"中間選定要置入的上限壓力值系數(shù)的整數(shù)位,再按(Fun)鍵,使系數(shù)的小數(shù)位閃爍,再按(Set)鍵選定小數(shù)位,同樣的方法可設定壓力值數(shù)的正負號和數(shù)字位。
設置控制區(qū)域上限的壓力值,再按(Fun)鍵,顯示1路控制的區(qū)域下限符號:“1-",用與設置上限壓力值相同的方法,可以設定下限的壓力值。
設置成1路控制的真空度區(qū)域上、下限壓力值后,再按“能(Fun)鍵,顯示2路控制區(qū)域的上限符號:“2-",與設置1路控制區(qū)域上、下限壓力值的方法相同,可設定2路控制的區(qū)域上、下限壓力值。
如果需要設置控制點,只需將該路控制的區(qū)域上下限壓力值均設為所需控制點的壓力值。
注意設置作成后,定要關機保存所置入的數(shù)據(jù),直到下次修改。如果不關機,儀器不會從設置狀態(tài)自動返回測量狀態(tài)。5、控制繼電器的作方式
各路控制繼電器的作方式是:當被測系統(tǒng)的真空度上升至該路控制區(qū)域上*繼電器吸合,當被測系統(tǒng)的真空度下降至該路控制區(qū)域下*繼電器釋放。對應儀器輸出的兩路繼電器控制,在面板上有J1、J2、兩個示燈,其作狀態(tài)是:當某路繼電器動作時,對應的示燈亮,復位時,示燈滅。
例:
使用本機輸出的1路繼電器控制,對如圖所示的真空度范圍設置區(qū)域控制,當系統(tǒng)真空度上升達到5Pa時,1路控制繼電器吸合,然后在系統(tǒng)真空度下降到8Pa時,繼電器釋放。
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