檢漏測試儀連接到個別用來容納需要被測試的包裝的測試腔。包裝被置于要被抽真空的實(shí)驗(yàn)腔內(nèi)。雙傳感器不僅用來監(jiān)測真空度同樣也監(jiān)測預(yù)定測試時間段中的真空變化。真空和真空差壓的變化暗示了當(dāng)前包裝中存在泄漏和缺陷。項(xiàng)測試的靈敏度取決于傳感器的靈敏度、包裝的形式、包裝測試時的夾具以及測試中的關(guān)鍵參數(shù):時間和壓力。

測試原理

真空度檢測儀采用磁控放電法行測量。將真空開關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開定的距離，施加電場脈沖壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場。這樣，在脈沖強(qiáng)磁場和強(qiáng)電場的作用下，滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)動，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于不同的真空管型號(管型)，由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場與磁場的條件下，離子電的大小也不相同。通過實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電間的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電后，就可以通過查詢該管型的離子電真空度曲線獲得該管型的真空度。

在常規(guī)磁控放電測試滅弧室的真空度時，為了提其測試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺線管線管內(nèi)。這樣來，滅弧室在重新裝回斷路器時需要調(diào)整機(jī)械參數(shù)，作量很大并需業(yè)人員。而使用新型磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室，這樣就不拆卸滅弧室。而采用單片微機(jī)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理，提了滅弧室真空度的現(xiàn)場測試靈敏度。

真空度測試儀將滅弧室的兩觸頭拉開定的開距，施加脈沖壓，將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè)，向線圈通以大電，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場，這樣在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電的大小也不相同，當(dāng)測知離子電后，通過離子電真空度曲線，由計算機(jī)自動成真空度的計算，并顯示真空度值。